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氧化鈹在半導(dǎo)體領(lǐng)域中為什么被氮化鋁給淘汰了

文章出處:http://www.njjydsyl.com/industry/873.html人氣:8時間:2024-07-06

在先進(jìn)陶瓷領(lǐng)域中氮化鋁氧化鈹等材料因其出色的導(dǎo)熱性和堅固的物理性能而備受推崇。這些材料在電子、航空航天和汽車行業(yè)等需要出色散熱性能的行業(yè)中至關(guān)重要。它們能夠在高溫下保持完整性和性能,因此在從散熱器和電子基板到高功率設(shè)備中的絕緣體等應(yīng)用中都不可或缺。

傳統(tǒng)半導(dǎo)體領(lǐng)域上,射頻功率電阻元件采用氧化鈹陶瓷材料作為陶瓷基板,然而,由于國際上要求從產(chǎn)品中去除氧化鈹?shù)膲毫?,讓氮化鋁等替代材料在無線行業(yè)中逐漸崛起。

雖然氧化鈹以陶瓷形態(tài)來說是無害的,但假如吸入足夠量的粉塵或粉末有可能危害人體健康的。OSHA將氧化鈹粉塵列為對人類有害的物質(zhì)和可能的致癌物,法定的空氣傳播允許暴露限值(PEL)為0.002mg/m³,所以平氮化鋁材料已成為氧化鈹?shù)闹饕娲贰?/p>

與Beo陶瓷相比,氮化鋁陶瓷在許多方面都非常接近,由于應(yīng)用的高功率特性,主要關(guān)注的參數(shù)是熱導(dǎo)率。在電學(xué)上,氮化鋁陶瓷具備比Boe更高的介電常數(shù),這導(dǎo)致電容部分略高,必須采用仔細(xì)的布局和薄膜設(shè)計來減輕這種差異。

熱導(dǎo)率是電子和工業(yè)應(yīng)用中散熱材料的關(guān)鍵因素。氧化鈹 (BeO) 和氮化鋁 (AlN) 都具有高熱導(dǎo)率,但它們的具體特性適合不同的技術(shù)需求。

氮化鋁電阻器被研發(fā)為如今的現(xiàn)有氧化鈹電子設(shè)備的直接替代品。然后這些氮化鋁設(shè)備定義了一類通用非氧化鈹射頻電阻功率產(chǎn)品。

由于氧化鈹?shù)陌踩珕栴},導(dǎo)致它最終被氧化鋁而取代,再加上氮化鋁陶瓷具有的電絕緣性能和熱膨脹系數(shù),都與硅晶圓材料的熱膨脹系數(shù)十分接近,讓它成為解決電子領(lǐng)域因為高溫和散熱為主的材料。

Jundro Ceramics是一家專業(yè)的氮化鋁結(jié)構(gòu)件制造商,自2019年以來,一直為半導(dǎo)體行業(yè)提供各種技術(shù)陶瓷組件。憑借多年豐富的機械陶瓷加工經(jīng)驗,我們致力于滿足客戶的需求,為客戶打造舒適的定制體驗,把控每一個細(xì)節(jié)。

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