α-Al2O3陶瓷材料具有高強(qiáng)度,優(yōu)越的絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性、良好的介電性能等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于電子、機(jī)械、化工、航空航天等領(lǐng)域。近年來(lái),隨著微電子技術(shù)尤其是混合集成電路(HIC)和多芯片組件(MCM)技術(shù)的飛速發(fā)展,氧化鋁陶瓷吸片的廣泛應(yīng)用而日益受到人們的重視。在各種成型工藝中,有機(jī)流延成型方法制備氧化鋁基板具有成本低,效率高,坯膜性能均勻一致且易于控制等優(yōu)點(diǎn),成為目前制備高性能氧化鋁陶瓷吸片的首選方法,下面就由鈞杰陶瓷帶大家了解氧化鋁陶瓷吸片什么?
非水基流延成型工藝是指無(wú)機(jī)粉料用苯類、醇類、酮類等有機(jī)物作為有機(jī)溶劑,進(jìn)行第一段球磨,再加入粘結(jié)劑、增塑劑、分散劑等添加劑進(jìn)行第二段球磨,制得適宜流延成型的漿料,在流延機(jī)上經(jīng)過(guò)流延成型制得基片生坯。非水基流延成型工藝被應(yīng)用于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn),是由于它的如下優(yōu)點(diǎn):
(1)工藝簡(jiǎn)單,對(duì)設(shè)備要求不高;
(2)成本相對(duì)較為低廉;
(3)產(chǎn)品性能穩(wěn)定,易于大規(guī)模生產(chǎn)。
鑒于有機(jī)溶劑對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的污染因素,現(xiàn)在也有人嘗試用水基流延代替有機(jī)流延成型,不過(guò)因?yàn)樗餮庸に嚭驮O(shè)備上的苛刻要求以及產(chǎn)品性能穩(wěn)定性差等因素一直停留在實(shí)驗(yàn)室階段。本研究主要針對(duì)非水基流延工藝中的混合溶劑配比、各添加劑加入量以及燒成制度等對(duì)基片性能的影響進(jìn)行了探討。
1.1原料
采用高純超細(xì)氧化鋁粉,用JL-1155型激光粒度分布儀測(cè)得其平均粒徑尺寸為1.21μm,燒結(jié)助劑為超細(xì)滑石粉,混合溶劑為甲苯和正丁醇,粘結(jié)劑為聚乙烯醇縮丁醛(PVB),增塑劑為聚乙二醇-400(PEG-400),分散劑為魚(yú)油,均為分析純。
1.2漿料制備與粘度測(cè)試
實(shí)驗(yàn)室采用兩段球磨法制備流延漿料,第一段,在球磨罐中加入一定量的氧化鋁粉、適量超細(xì)滑石粉和球磨介質(zhì),然后量取適量的甲苯與正丁醇溶劑進(jìn)行球磨,為了獲得良好的分散性,再加入少量魚(yú)油,球磨7-8h;第二段,加入增塑劑(PEG-400)粘結(jié)劑(PVB),繼續(xù)球磨6-7h制得漿料,過(guò)250目篩,真空脫泡,漿料粘度用NDJ-1旋轉(zhuǎn)式粘度計(jì)測(cè)量。
1.3樣品制備和性能測(cè)試
將制得適合流延的漿料在LY-250-1型流延機(jī)上流延,流延帶速度為0.5~0.7m/min,采用四段干燥,通過(guò)調(diào)節(jié)流延刮刀刀片高度和流延帶速度控制流延片厚度。將干燥好的素坯切割成一定尺寸放進(jìn)電爐在制定的燒成制度下燒結(jié)。采用JSM-6700F型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡分析,采用ZC36高阻計(jì)測(cè)試電阻R并計(jì)算出體積電阻率Pv。采用HP4294A型測(cè)量?jī)x測(cè)量電容C和介質(zhì)損耗tgδ(測(cè)量頻率為IMHz)并計(jì)算出介電常數(shù)ε。
1)氧化鋁非水基流延成型添加劑的最佳配比為:復(fù)合溶劑27.5wt%(甲苯:正丁醇為5:3),粘結(jié)劑5wt%,增塑劑2wt%,分散劑0.6wt%,可獲得粘度為2100-3500mPa·s的漿料,此漿料流動(dòng)性好。
2)采用以上配方工藝制得的漿料,經(jīng)流延成型制備出氧化鋁陶瓷吸片生坯,在1575℃燒結(jié)陶瓷側(cè)梳氣孔率達(dá)到最小值為1%,體積密度達(dá)到最大3.780g/cm3。燒結(jié)后的氧化鋁陶瓷吸片顯微結(jié)構(gòu)晶粒細(xì)小、均勻、致密、介電性能優(yōu)良。鈞杰陶瓷是專門加工這一類氧化鋁陶瓷材料的,經(jīng)驗(yàn)也是非常豐富的。有一定的質(zhì)量保證。鈞杰陶瓷加工:134 128 56568(微信號(hào))